بهینه سازی پارامترهای plasma etchingجهت زدایش لایه هایsiو sio2و فوتورزیست

پایان نامه
چکیده

از دلایل توسعه پذیر بودن روشهای رسوب بخار شیمیایی (cvd) ، می توان به توان تولید لایه هایی با تنوع زیاد، به صورت فلز و هم چنین نیمه رسانا و نیز لایه هایی با ترکیبات آلی و غیر آلی و دارای خواص مطلوب را اشاره کرد.در این پروژه دو روش کلی زدایش یا همان سونش خشک و تر مقایسه شده است چرا که صنایع الکترونیک نیازمند روش جدیدی می باشند که علاوه بر اینکه میزان آلودگی آن کم باشد به محیط زیست نیز آسیب نرساند به علاوه بتواند پروسه های با کیفیت بالایی را تولید کند.تستهایsemو afm وایدکس بر روی نمونه های تولید شده با هر دو روش زدایش گرفته شده است و همه بیانگر این مطلب می باشد که نمونه هایی که با روش زدایش خشک و توسط روشplasma etching بدست امده است کارآمدتر میباشد از سایر نمونه ها.

۱۵ صفحه ی اول

برای دانلود 15 صفحه اول باید عضویت طلایی داشته باشید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

بهینه سازی پارامترهای مؤثر بر سنتز Nitro-HTPB

Formation of nitro aliphatic compounds are mainly consisted of direct nitro functionalizing of alkanes and alkenes. Nitro functionalization of alkenes has particular importance in the field of energetic materials due to unsaturated nature and the ability to synthesize a wide range of C-nitro aliphatic compounds. Considering the importance of synthesis of these compounds, the use of nitrile iod...

متن کامل

بهینه سازی پارامترهای هندسی موتور الکتریکی بدون جاروبک

موتورهای دی سی بدون جاروبک یکی از موتورهای محبوب و پرکاربرد در سال های اخیر بوده اند. استفاده از این موتور در کاربردهای حساس و ظریف به خاطر وجود امتیازاتی نظیر کم بودن نویز، عملکرد دقیق، کنترل دقیق سرعت، گشتاور و قابلیت انعطاف در ساختمان و شکل آن است. با توجه به کاربردهای حساس این موتور، طراحی موتور به طوری که دارای کمترین حجم و بیشترین بازدهی باشد، از اهمیت بالایی برخوردار است. در این تحقیق، ر...

متن کامل

بهینه سازی پارامترهای مؤثر در لیچینگ سیانیدی کانسنگ طلا

نمونه‌ای از محدوده‌ی اکتشافی زایلیک تهیه گردید. مطالعات میکروسکوپ نوری (مقاطع نازک-صیقلی و صیقلی)، XRD، XRF و SEM نشان داد که این کانه از نوع اکسیدی می‌باشد. کانی‌ اصلی کوارتز و کانی‌های دیگر شامل کانی‌های رسی، اکسیدهای ثانویه و آبدار آهن و بندرت پیریت، کالکوپیریت، طلا، آزوریت و مالاکیت می‌باشد. بدلیل پراکندگی طلای ریزدانه در زمینه، فرآیند سیانوراسیون کانه بدون پیش‌عمل‌آوری انجام شد. آزمایش‌های...

متن کامل

بهینه سازی بهره اپتیکی در لایه های نازک دیودهای لیزری چاه کوانتومی

Advanced diode laser consists of a two dimensional thin layer which is about 10 nanometers size. Optical gain of thin layers has a great deal of importance in light amplification. Thin layers cause a modification in conduction and valance bands of bulk materials. · Subbands have been computed through effective mass equations. As a result of this method, particular effective masses are avai...

متن کامل

منابع من

با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده

{@ msg_add @}


نوع سند: پایان نامه

وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه پیام نور - دانشگاه پیام نور استان تهران - دانشکده علوم پایه

میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com

copyright © 2015-2023